ASTM E827 - 08

    Стандартная методика идентификации элементов с помощью пиков в Оже-электронной спектроскопии

    Active Standard ASTM E827 Developed by Subcommittee: E42.03

    Book of Standards Volume: 03.06


    Contact Jim S. Thomas for price quote.


    Historical Version(s) - view previous versions of standard

    Translated Standard(s): English

    ASTM License Agreement

    More E42.03 Standards Related Products


    1. Область применения

    1.1 В настоящей методике описаны шаги, необходимые для идентификации элементов в конкретном Оже-спектре, полученном с помощью обычных электронных спектрометров. В данной методике рассматриваются спектры, отображаемые либо в виде распределения электронов по энергиям (прямой спектр), либо в виде первой производной распределения электронов по энергиям.

    1.2 Данная методика распространяется на Оже-спектры, полученные с помощью электронной или рентгеновской бомбардировки поверхности образца, а также может распространяться на спектры, полученные с помощью иных методов, таких как ионная бомбардировка.

    1.3 Значения, указанные в единицах системы СИ, считаются стандартными. Никакие другие единицы измерения не включены в данный стандарт.

    1.4 Данный стандарт не претендует на полноту описания всех мер безопасности, если таковые имеются, связанных с его использованием. Вся ответственность за установление соответствующих правил техники безопасности и мер по охране здоровья, а также определение пределов применимости регламентов до начала использования данного стандарта, лежит на пользователе стандарта.

    2. Ссылочные документы

    E1523 Guide to Charge Control and Charge Referencing Techniques in X-Ray Photoelectron Spectroscopy

    E673 Terminology Relating to Surface Analysis

    E983 Guide for Minimizing Unwanted Electron Beam Effects in Auger Electron Spectroscopy

    E984 Guide for Identifying Chemical Effects and Matrix Effects in Auger Electron Spectroscopy

    ISO17974:2002 Surface Chemical AnalysisHigh-Resolution Auger Electron SpectrometersCalibration of Energy Scales for Elemental and Chemical-State Analysis


    Ключевые слова

    ОЭС, Оже-электронная спектроскопия, спектроскопия, анализ поверхности